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        首页 > 产品信息

         
         
        T系列—纳微检测仪
         
         专利号:ZL201220088148.1
         
        功能描述:   
        1. 可测微观尺寸范围:0.5~1000微米;
        2. 专利套刻算法软件系统,可换算9大套刻工艺参数;
        3. 高精度开放式线性反馈系统,可测点距范围:1.0~200毫米;
        4. 全面的观察手段:自由切换透射、反射、环形照明及明、暗场观察法;
        5. 高精度快速自动聚焦,排除人为误差;
        6. 配备安全的电气及操作防护系统,保障运行更安全稳定。
         
         
        系统配置:
         
        用途
        1. 微观尺寸、套刻分析  2. 点距测量  3. 缺陷标注
        型号
        TJC-750A
        载物台   
        行程:158mm x 158mm/210mm x 210mm可选
        手动/自动载物台可选,自动上下片装卸装置可选
        支持夹具定制
        反馈系统
        线性反馈尺,解析率:1.0um/ 0.1um可选
        聚焦
        电动聚焦系统,影像/ 激光自动聚焦可选
        探测系统
        高品质工业用显微镜,5x~150x 物镜可选
        照明系统
        透射、反射照明可选,可切换明、暗场观察法
        软件系统
        全功能图像处理软件系统及批处理测控语言,支持拼图功能,
        提供各类数据库接口,可将测量结果上传至工艺主控终端
        检查性能
        微观两维尺寸检测3σ≤10纳米,
        精度 ±10纳米
        全行程点距误差 (2+2L/100)um, L:行程(mm)
        隔震系统
        隔振平台,有效隔离高频振动
        标配外观尺寸
        长:1200mm   宽:800mm   高:1500mm
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