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        首页 > 产品信息

         

         

        【T系列—划片检查仪】

         
        系统配置:
        用途
        裸片、划片检查及标记
        型号
        TJC-750S
        载物台
        高精度载物台,手动/电动可选,
        最大可支持12寸片
        行程:210mm X 210mm
        探测系统
        深景深显微组合设计,综合放大倍率8.0X~100X
        成像系统
        高品质彩色成像系统
        照明系统
        同轴加环形组合照明
        夹具
        支持夹具定制:
        —用于划片观测的夹具,可实现夹紧、旋转及
        在0°、90°、180°、270°的锁定功能
        —用于裸片观测的夹具,以NOTCH作为机械定位
        基准,实现真空吸附功能
        反馈系统
        线性反馈尺,解析率:1.0um/ 0.1um可选
        隔振系统
        高频振动隔离平台,保障检查过程中的图像稳定性
        软件系统
        自主软件系统,支持Mapping标记功能
        提供各类数据库接口
        可将测量结果上传至工艺主控终端
        检查性能
        定位辅助—加入模糊识别的功能,保障操作员对WAFER MAP原点的准确判断
        定位补偿—角度补偿及追踪报警系统,保障对准过程中不产生“错行”误操作
        特殊补偿—针对宽度特异的划片槽提供“特殊步进”操作模式
        附带量测功能—两维尺寸测量,精度±0.2um
        外观尺寸
        长:750mm  宽:800mm  高:1500mm
         
        软件特点:
        1. 图像处理软件系统包含如下功能
            — 依靠设备加装的反馈和软件系统,参照工艺制程RECIPE
               对晶圆进行对准(Alignment);
            — 参照前工序WAFER MAP在指定位置进行检查;
            — 检测过程中及检测结束后结果可在WAFER MAP中标注
               并上传 数据库;
        2. 将数据与客户定制数据库进行接口,实现下载及上传功能;
        3. 在找WAFER MAP原点时,加入模糊识别的功能保障操作员对原点
           的准确判断;
        4. 角度补偿及追踪报警系统保障对准过程中不产生“错行”误操作;
        5. 针对宽度特异的划片槽提供“特殊步进”操作模式;
        6. 定制夹具展示:
         
         
        裸片吸盘                                                                                            划片吸盘
         
         
         
         
         
         
         
         
         
         
         
         
         
         
         
         
         
         
         
         
         
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