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        首頁 > 產品信息

         

        晶體掃描儀—顯微掃描】
         
        設備特點:
        1. 采用高速相機配合高亮冷光源及光纖,保障圖像的清晰度;
        2. 夾具設計采用4x4矩陣掃描方案,提升檢測效率;
        3. 像素分辨率: 2.8um/1.4um/0.7um可選;
        4. 采用3PC分析處理方案,保障檢測效率及數據穩定性;
        5. 可按照芯片尺寸設定最小分析單元。
         
        系統配置:
        用途
        1、LED外延片/芯片/PSS圖形缺陷檢測
        2、支持排線及電子印刷等圖形缺陷檢測
        型號
        XTL-2K
        載物臺
        全自動掃描載物臺
        行程:158mm x 158mm/210mm x 210mm可選
        支持夾具定制
        反饋系統
        線性反饋尺, 解析率:0.1um/1.0um可選
        聚焦
        電動聚焦系統
        探測系統
        特殊深景深顯微組合設計; 高品質彩色成像系統;
        綜合放大倍率8.0x~100x; 超長工作距離>50mm
        照明方式
        專用組合環形光源及同軸光可切換照明
        軟件系統
        高性能缺陷檢測算法軟件系統,內嵌美軍標判據基準軟件;
        提供各類數據庫接口,可將測量結果上傳至工藝主控終端
        檢查性能
        高品質自動抓圖及拼圖功能; 結合自動標注存檔功能
        隔震系統
        隔振平臺,有效隔離高頻振動
        標配外觀尺寸
        長:1200mm   寬:800mm   高:1500mm
         
         
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