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        【T系列—标尺计量仪】

        系统配置:
        用途
        1、微观尺寸、套刻分析 2、点距测量 3、缺陷标注
        型号
        TJC-105L
        载物台
        全自动载物台,
        行程:105mm X 105mm
        探测系统
        工业显微镜,综合放大倍率8.0X ~100X
        成像系统
        高品质CCD成像系统
        照明系统
        同轴、环形照明可选
        夹具
        支持夹具定制:
        —用于划片观测的夹具,可实现夹紧、旋转及
        在0°、90°、180°、270°的锁定功能
        —用于裸片观测的夹具,以NOTCH作为机械定位
        基准,实现真空吸附功能
        反馈系统
        线性反馈尺,解析率:1.0um/ 0.1um可选
        隔振系统
        隔振平台,有效隔离高频振动
        软件系统
        全功能图像处理软件系统及批处理测控语言,支持拼图功能,提供各类数据库接口,可将测量结果上传至工艺主控终端
        检查性能
        微观两维尺寸检测3σ≦0.2um,精度±0.2um
        外观尺寸
        主机外观尺寸:
        550mm *550mm *700mm
         
        测量实例:
         
         
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