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        首页 > 产品信息

        【T系列—声表扫描仪】
        系统配置:
        用途
        1、微观尺寸、套刻分析 2、点距测量 3、缺陷标注
        型号
        TJC-850
        载物台
        高精度纳米载物台
        行程:800um X800um
        探测系统
        高品质工业用显微镜,5X~150X物镜可选
        成像系统
        高品质CCD成像系统
        照明系统
        透射、反射照明可选,可切换明、暗场观察法
        夹具
        支持夹具定制:
        —用于划片观测的夹具,可实现夹紧、旋转及
        在0°、90°、180°、270°的锁定功能
        —用于裸片观测的夹具,以NOTCH作为机械定位
        基准,实现真空吸附功能
        反馈系统
        线性反馈尺,解析率:1.0um/ 0.1um可选
        隔振系统
        隔振平台,有效隔离高频振动
        软件系统
        全功能图像处理图像处理软件系统及批处理测控语言,支持拼图功能,提供各类数据库接口,可将测量结果上传至工艺主控终端
        检查性能
        微观两维尺寸检测3σ≦10nm,精度±10um
        外观尺寸
        长:1200mm 宽:800mm 高:1500mm
        软件特点:
        版权所有:苏州爱特盟光电有限公司 苏ICP备15029769号-1    关于我们 产品信息 资质荣誉 技术反馈 资料下载 联系我们
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